氮化硅陶瓷底座
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| 技术规格 | ||
| 材料 | 氮化硅 (Si3N4) | |
| 颜色 | 黑色 | |
| 尺寸 | 10x25x10mm | |
| 准确性 | 0.008mm | |
| 最高温度 | 800℃(1472F） | |
| 圆形跳动 | 12um | |
| 垂直度 | 12um | |
| 循环性 | 10um | |
| 并行性 | 15um | |
| 应用 | 化工、航空航天、医药、环保设备、电子工业以及高温医疗、污水处理、石油工业领域 | |
| RoHS | 符合要求 | |
| 材料特性 | ||
| 配料 | Aluninum (Al) | 2.0~3.5% |
| Yttrium (Y) | 4.0~5.0% | |
| Titanium (Ti) | 1.0~1.5% | |
| Oxygan (O) | 4.5~6.0% | |
| Carbon(C) | 0.3~0.8% | |
| 其他杂质小于 0.1% | ||
| 其余为氮化硅 | ||
| 密度(g/cm3) | ≥3.20 | |
| 硬度(Hv) | 1400~1600 | |
| 弯曲强度(Mpa) | >800 | |
| 抗压强度(Mpa) | >4000 | |
| 弹性模量(Gpa) | 300~315 | |
| 断裂韧性(Mpa.m1/2) | 6~8 | |
| 热膨胀系数(10-6/℃) | 2.2~3.0 | |
